Bộ điều khiển lưu lượng 5850EMH Series Brooks Instrument Vietnam

Bộ điều khiển lưu lượng 5850EMH Series Brooks Instrument Vietnam

Cung cấp hiệu suất hiện đại trong việc đo lường và kiểm soát khí ở nhiệt độ cao, bộ điều khiển lưu lượng khối lượng kín bằng kim loại nhiệt độ cao 5850EMH Series của Brooks Instrument kết hợp tính toàn vẹn rò rỉ vượt trội của con dấu kim loại với nhiều tùy chọn cho phép ứng dụng linh hoạt tối đa.

Bên trong của Dòng 5850EMH là cảm biến có độ ổn định cao cung cấp tín hiệu điện đầu ra tuyến tính với tốc độ dòng chảy. Tín hiệu này được sử dụng cho mục đích chỉ thị, ghi và / hoặc điều khiển mà không cần mạch tự động về không.

                            

Bộ điều khiển lưu lượng 5850EMH Series Brooks Instrument Vietnam

Dùng cho ứng dung dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất và nhiệt độ cao.

Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng đắt tiền . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại- chịu nhiệt độ cao.

Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

Ứng dụng chính:

• • Sản xuất sợi quang cho lưu lượng kế nhiệt độ cao – MCVD
  • Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon

• • •  CVD (phân phối tiền chất ở dạng hơi)

• • • Dải (hơi nước)

• • •  Etch (hơi nước để thụ động))

Đặc tính chính

• •  Nhiệt độ hoạt động cao nhất (1500C)
  •  Độ chính xác cao – SP ± 1% và độ lặp lại
  • Kết cấu siêu tinh khiết

Mã sản phẩm:

• • 5850EMH Series: Model 5850EMH / 5851EMH