Bộ điều khiển lưu lượng 5850EM Series Brooks Instrument Vietnam
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng kín bằng kim loại 5850EM Series đo và kiểm soát dòng khí áp suất cao trong môi trường siêu sạch với độ ổn định đã được chứng minh được xây dựng dựa trên hiệu suất của 5850E & i Series MFCs được sử dụng rộng rãi. Cấu trúc kín bằng kim loại và bề mặt được đánh bóng bằng điện đảm bảo tính toàn vẹn của dòng chảy vượt trội và giúp cải thiện hiệu quả tổng thể của quá trình bằng cách loại bỏ nhu cầu giám sát liên tục và điều chỉnh lại áp suất khí để cung cấp dòng khí ổn định.
Xem thông tin chi tiết sản phẩm tại đây!
Bộ điều khiển lưu lượng 5850EM Series Brooks Instrument Vietnam
Dùng cho dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất , chính xác cao và kiểm soát không nhiễm tạp chất.
Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại.
Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.
Ứng dụng chính:
-
- Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon – Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implant và RTP
- Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn hợp chất – MOCVD
- Lớp phủ bề mặt được thiết kế chính xác
- Hệ thống phân tích
- Ứng dụng quy trình chân không
Đặc tính:
-
- Đối với các quy trình nhạy cảm với độ ẩm hoặc oxy
- Đường dẫn dòng có độ tinh khiết cao giảm thiểu nhiễm bẩn, nâng cao năng suất
- Thời gian phản hồi cực nhanh
Mã sản phẩm:
-
- 5850EM Series: Models 5850EM / 5851EM
Xem thêm sản phẩm hãng Brooks Instrument tại đây!
Xem thêm nhiều sản phẩm hơn tại đây !
———————————————————————————————————————————————-
ANS Vietnam là đại lý chính thức của Brooks Instrument tại Việt Nam
Liên hệ với chúng tôi để được tư vấn và hỗ trợ nhanh nhất – Một số dòng sản phẩm chúng tôi có hàng sẵn kho
Báo giá nhanh – Hàng chính hãng – Hỗ trợ tư vấn kỹ thuật 24/7 – Giao nhanh 24h.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.