Bộ điều khiển lưu lượng 9861 Series Brooks Instrument Vietnam

Bộ điều khiển lưu lượng 9861 Series Brooks Instrument Vietnam

Được thiết kế cho các điều kiện thách thức liên quan đến việc phân phối nhiệt độ cao của các tiền chất và chất pha tạp có thể ngưng tụ, bộ điều khiển lưu lượng nhiệt và đồng hồ đo nhiệt độ cao 9861 Series của Brooks Instrument có đường dẫn dòng kim loại có độ tinh khiết cao, toàn vẹn rò rỉ đảm bảo tương thích với tất cả các khí và hơi của quá trình.

IsoSensor ™ đã được cấp bằng sáng chế là một cảm biến lưu lượng ổn định cao tương thích với nhiệt độ môi trường tăng cao trong các đường dẫn khí đốt nóng và hệ thống nướng. Hiệu suất trôi cực thấp của IsoSensor ™ giúp giảm nhu cầu chỉnh sửa lại và hiệu chuẩn lại thường xuyên trong các ứng dụng nhiệt độ cao.

Bộ điều khiển lưu lượng 9861 Series Brooks Instrument Vietnam

Dùng cho ứng dung dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất và nhiệt độ cao.

Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng đắt tiền . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại- chịu nhiệt độ cao.

Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

Ứng dụng chính:

• • Sản xuất sợi quang cho lưu lượng kế nhiệt độ cao – MCVD
  • Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon

• • •  CVD (phân phối tiền chất ở dạng hơi)

• • • Dải (hơi nước)

• • •  Etch (hơi nước để thụ động))

Đặc tính chính

• •  Nhiệt độ hoạt động cao nhất (1500C)
  •  Độ chính xác cao – SP ± 1% và độ lặp lại
  • Kết cấu siêu tinh khiết

Mã sản phẩm:

• • 9861 Series: Model C9861/ M9681