Bộ điều khiển lưu lượng GF80 Series Brooks Instrument Vietnam
Đối với nhiều quy trình công nghiệp và bán dẫn, cả hiệu suất và hiệu quả chi phí đều rất quan trọng. Bộ điều khiển và đồng hồ đo lưu lượng khối kín bằng kim loại GF80 Series cung cấp cả hai. Được thiết kế bằng cách sử dụng cùng một cảm biến phản hồi nhanh và công nghệ MultiFlo ™ thế hệ thứ 4 đã được cấp bằng sáng chế như dòng GF100 bán chạy nhất của chúng tôi, đây là lựa chọn phù hợp cho các hoạt động cần hiệu suất cao với mức giá hợp lý .
Chuyển sang MFC kín bằng kim loại mang lại lợi ích đầy đủ của khả năng đa khí / đa dải MultiFloTM vì không có giới hạn nào trong các loại khí có thể được sử dụng, tăng cường độ tinh khiết của khí do loại bỏ sự thẩm thấu oxy qua chất đàn hồi và giảm bảo trì vì con dấu kim loại sẽ tồn tại vô thời hạn.
Xem thông tin chi tiết sản phẩm tại đây!
Bộ điều khiển lưu lượng GF80 Series Brooks Instrument Vietnam
Dùng cho dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất , chính xác cao và kiểm soát không nhiễm tạp chất.
Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại.
Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.
Ứng dụng chính:
-
- Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon – Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implant và RTP
- Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn hợp chất – MOCVD
- Lớp phủ bề mặt được thiết kế chính xác
- Hệ thống phân tích
- Ứng dụng quy trình chân không
Đặc tính:
-
- Đối với các quy trình nhạy cảm với độ ẩm hoặc oxy
- Đường dẫn dòng có độ tinh khiết cao giảm thiểu nhiễm bẩn, nâng cao năng suất
- Thời gian phản hồi cực nhanh
Mã sản phẩm:
-
- GF80 Series: Code GF80
Xem thêm sản phẩm hãng Brooks Instrument tại đây!
Xem thêm nhiều sản phẩm hơn tại đây !
———————————————————————————————————————————————-
ANS Vietnam là đại lý chính thức của Brooks Instrument tại Việt Nam
Liên hệ với chúng tôi để được tư vấn và hỗ trợ nhanh nhất – Một số dòng sản phẩm chúng tôi có hàng sẵn kho
Báo giá nhanh – Hàng chính hãng – Hỗ trợ tư vấn kỹ thuật 24/7 – Giao nhanh 24h.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.